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氧化物半导体甲烷传感器研究进展

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本文介绍了氧化物半导体甲烷传感器的工作机理,论述了改善氧化物半导体甲烷气敏传感器性能的几种途径。采用加入催化剂、控制材料的微细结构、利用新的制备工艺和表面修饰等新方法、新技术可提高氧化物半导体甲烷气敏元件的灵敏度、选择性、响应和恢复特性、稳定性。瓦斯是一种对煤有较强吸附性,且与氧气混合达到一定浓度后具有易燃易爆性的物质,因此煤层瓦斯会给煤矿生产过程带来瓦斯爆炸、瓦斯突出等灾害。对1991年以来对全国煤矿重大事故的次数、伤亡情况、发生原因、事故性质进行的统计分析结果表明,

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