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具本安特性的平面型载体催化甲烷传感器的研究

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传统载体催化甲烷传感器,在甲烷浓度超过爆炸下限位后,其表面温度将接近点火温度,使自身可能成为引爆源.为解决这一潜在的不安全因素,本文通过催化性能的改善以降低起始工作温度;通过微电子学平面工艺以降低温升灵敏度,从而成功地制造出具有本安特性的平面型载体促化甲烷传感器。

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