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MEMS甲烷传感器的应用特点及使用说明

        MEMS甲烷传感器的应用特点及使用说明

        MCG303MEMS可燃气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时,传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高,传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

  特点:MEMS气体传感器工艺、结构坚固、低功耗、高灵敏度快速的响、应恢复特性、简单的驱动电路

  主要应用:检测气体种类、甲烷(CH4):1–10000ppm、丙烷(C3H8):1-5000ppm;适用于手机、电脑等消费类电子产品应用检测燃气泄漏;也适用于用于家庭、商业用所的可燃气体泄漏 监测装置、气体检漏仪、防火/安全探测系统。

  技术指标

气敏元件特性

符号

标准值

最小值

最大值

单位

传感器电阻

R0

-

100

1500

气体(CH4)检测浓度

FS

-

1

10000

ppm

灵敏度

S50

-

1.2

50

-

  使用说明:

  1.预热时间 传感器需要时间达到内部的化学平衡所以需要一定的预热时间。一般来说,传感器在比较 高的温度下会更 快的达到平衡,所以可以在最初开机的几十秒,可以给传感器更高的电压来预热。总 的来讲,预热时间越 长则传感器精度越好。

  2.传感器标定 对于绝对浓度测量,很多因素会影响到传感器的精度如传感器之间的基准电阻差异, 灵敏度差异,温度, 湿度,干扰气体,老化时间等,因此需要定期标定。对于相对测量则不需要标定。 因为传感器的特性曲线 是非线性的,所以推荐在全量程内进行多点标定并考虑温度和湿度的影响。 当标定数据得到后,可以利用多项式或线性拟合来对数据进行整理。


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