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一种新型MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法介绍

一种新型MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法介绍:一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法,属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体;硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件,每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器;硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连;纳米氧化铝溶胶粒径为10-50nm;纳米氧化铝溶胶制备的MEMS甲烷传感器的催化剂载体晶型为γ-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>。优点:方法设备简单,容易操作,可批量制备催化剂载体,制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。

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