甲烷传感器_甲烷传感器厂家_一氧化碳传感器_烟雾传感器_郑州炜盛电子科技有限公司

甲烷传感器

郑州炜盛电子科技有限公司联系方式
行业资讯

一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法

一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法,属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体;硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件,每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器;硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连;纳米氧化铝溶胶粒径为10-50nm;纳米氧化铝溶胶制备的MEMS甲烷传感器的催化剂载体晶型为γ-Al2O3。优点:方法设备简单,容易操作,可批量制备催化剂载体,制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。

上一篇:一种甲烷传感器校准方法的研究探讨 下一篇:氢气传感器和一种基于无线无源技术的汽轮机发电机组漏氢在线监测装置系统