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甲烷传感器

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具有浓缩功能的氢气传感器以及其中使用的氢气传感器探头

一种小型、具有量产性、廉价、对氢气的选择性高、并且是高灵敏度、高精度的氢气传感器。在从基板(1)上热分离的薄膜(10)上具有加热器(25)和温度传感器(20)以及氢吸收材料(5)的氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)设置在相同的微腔室(100)内。通过氢气传感器元件(500),对经过加热器加热而从浓缩部(300)释出并成为高浓度化的氢气进行测量。通过使氢吸收材料(5)具有氢气的选择性,从而氢气传感器元件(500)不需要具有氢气选择性。通过在微腔室(100)的出入口设置气流限制部(250),从而防止因外部气体的流入而引起的氢气的稀薄化。可以使用泵等导入机构(150),以规定的周期进行被检测气体向微腔室(100)的导入。一种氢气传感器,其特征在于,在将包含被检测氢气的外部气体(被检测气体)与腔室(100)连结的连通孔(200)中具有气流限制部(250),在所述腔室(100)内具有氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500),在该浓缩部(300)中具有氢吸收材料(5)和加热器(25)以及温度传感器(20),该氢气传感器具有用于将被检测气体导入至所述腔室(100)内的导入机构(150),利用该导入机构(150)将被检测气体导入至所述腔室(100)内,使氢吸收于所述浓缩部(300),其后,利用所述加热器(25)将吸收于所述浓缩部(300)的氢气加热而释出于所述腔室(100)内,能利用所述气流限制部(250)将该腔室(100)内的氢气浓度进行浓缩,利用所述氢气传感器元件(500)来输出与腔室(100)内的浓缩了的氢气浓度相关的信息,基于预先准备的校正数据,来求出被检测气体中的氢气浓度。

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