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一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法介绍

一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法介绍:一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法,是在基于专利《一种氧化钼纳米纤维纸及其制备方法》(201510308204.6)制得的氧化钼纳米纤维纸的一侧面溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列方法,包括:在氧化钼纳米纤维纸上覆盖金属掩膜版,再在磁控真空溅射设备内溅射Pt/Pd纳米颗粒阵列构成电极,将溅射后的纳米纤维纸从中间切断即成为二个性能相同的氢敏元件,将氢敏元件封装到IC基座中即为氢气传感器成品。不同材质纳米颗粒、不同溅射时间及溅射功率,可制得不同响应和恢复时间的传感器。所述传感器制造工艺简单、耗能低、成本低,能在常温下工作,响应和恢复时间短、灵敏度高,稳定性好,寿命长且能重复利用,所述氢敏元件还便于集成在各种多路传感器中。

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