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一种氢气传感器及其制造方法

一种制造氢气传感器的方法及其氢气传感器,包括:在硅衬底的第一表面上形成铝层,并对铝层进行阳极氧化处理形成具有多个小孔的氧化铝层;在小孔内壁上形成碳原子层;在氧化铝层上形成上电极;在硅衬底的第二表面上形成下电极。本发明的实施例中的氢气传感器具有响应速度快、重复性好、工作温度低、结构简单、体积小等优点,在室温下对0.05%-2%体积浓度的氢气敏感。此外,本发明实施例的制造氢气传感器的方法工艺简单,可重复性好。

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