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一种多层膜肖特基二极管氢气传感器芯体及其制备方法

一种多层膜肖特基二极管氢气传感器芯体及其制备方法:所述多层膜肖特基二极管氢气传感器芯体,依次包括基片、第一介质层和氢气敏感层,在第一介质层与氢气敏感层之间增加聚西夫碱薄膜为第二介质层。将上述芯体制成氢气传感器,在2000ppm的氢气浓度下,该多层膜肖特基二极管氢气传感器芯体的灵敏度大于56mV,能够检测得氢气浓度下限为5ppm,这些特性表明本发明在氢气传感领域具有潜在的应用价值。ME2-H2氢气传感器是燃料电池型传感器,氢气和氧气在工作电极和对电极上发生相应的氧化还原反应并释放电荷形成电流,产生的电流大小与氢气浓度成正比并遵循法拉第定律,通过测定电流的大小即可判定氢气浓度的高低。

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