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一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体及其制备方法

一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体及其制备方法:一种氢气传感器芯体,尤其涉及一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体及其制备方法。本发明提供了一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体,依次包括基片、介质层和氢气敏感层,所述介质层为二氧化铪薄膜。该管氢气传感器芯体的响应时间小于20s,能够检测得氢气浓度下限为50ppm,表明其在氢气传感器领域具有潜在的应用价值。

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