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一种基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器介绍

一种基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器介绍:一种基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器,从内向外依次包括P型硅基底(4)、碳纳米管(3)、金属钯薄膜(2)和两个金属电极(1),其中所述碳纳米管(3)的排布方式为分纵向和横向均匀排布,所述两金属电极(1)均为条形且相互对称的设置在金属钯薄膜(2)上表面。本发明采用的纹碳纳米管可以有效的改善金属钯膜的吸氢性能,减少氢气传感器的响应时间、提高氢气传感器的响应度;同时,器件的选择性也得到保证;此外,本发明可以在室温条件下工作;并且,器件制备工艺简单,易于大规模生产。

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